ZP3P 시리즈 종방향 진공 리드아웃 타입(버퍼 포함)

ZP3P 시리즈 종방향 진공 리드아웃 유형(버퍼 포함)은 고진공 환경용으로 설계된 입자 흐름 가이드입니다. 핵심 기능은 세로 방향 입자 빔을 효율적이고 안정적으로 추출하는 것입니다. 동시에 통합 버퍼 구조를 통해 입자 전달 역학을 최적화하여 정밀 산업 공정의 요구 사항을 충족합니다.

주요 기술적 특징
종방향 진공 추출 구조
축 대칭 진공 채널 설계는 입자 흐름이 장비의 주축을 따라 방향이 지정되도록 하고 측면 추출로 인한 흐름장 왜곡을 방지하며 진공 챔버의 공기 흐름 무결성을 유지하기 위해 채택되었습니다.

임베디드 버퍼 메커니즘
내장된 다단계 동적 버퍼 장치는 비접촉 에너지 구배 조절을 통해 고에너지 입자 흐름의 사전 조절을 실현하고, 입자 위상 공간 발산을 줄이며, 다운스트림 프로세스에 대해 더 나은 시준을 갖춘 입자 빔을 제공합니다.

진공 호환성 설계
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10^-5 Pa and above.

전송 역학 최적화
버퍼 모듈과 추출 채널의 조화로운 설계는 입자 에너지 스펙트럼의 활성 압축을 실현하고 산란 손실을 효과적으로 억제하며 빔 품질을 향상시킵니다. 이는 단색성에 대한 엄격한 요구 사항이 있는 응용 시나리오에 특히 적합합니다.

산업 시스템 적응성
표준 플랜지 인터페이스는 모듈식 통합을 지원하며 다양한 진공 공정 챔버에 원활하게 연결할 수 있습니다. 비자화 구조 설계로 자기장에 민감한 환경에서의 적용 가능성이 더욱 확장되었습니다.